技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種具有金屬封裝的傳感器裝置的熱式質(zhì)量流量計(jì)，所述傳感器裝置包括至少一個(gè)加熱電阻和至少一個(gè)溫度測(cè)量電阻，其中所述至少一個(gè)加熱電阻具有扁平的片狀幾何形狀并由傳感器罩包圍。

背景技術(shù)

本發(fā)明的應(yīng)用領(lǐng)域優(yōu)選延伸到工藝技術(shù)上的設(shè)備，在所述設(shè)備的管道中，通常為了控制技術(shù)方面的目的，要測(cè)量流動(dòng)通過所述管道的流體的質(zhì)量流量。為此，采用分別基于不同的物理原理的質(zhì)量流量計(jì)，例如科氏質(zhì)量流量計(jì)、磁感應(yīng)質(zhì)量流量計(jì)或熱式質(zhì)量流量計(jì)。本發(fā)明涉及zui后所述的熱式質(zhì)量流量計(jì)，這種質(zhì)量流量計(jì)優(yōu)選用于確定管道中的氣體流量。

根據(jù)作為熱式質(zhì)量流量計(jì)基礎(chǔ)的測(cè)量原理，通常向介質(zhì)流中引入兩個(gè)溫度傳感器并用介質(zhì)流對(duì)其進(jìn)行加載，以便向介質(zhì)流中進(jìn)行熱傳遞并測(cè)量介質(zhì)流的溫度。作為溫度傳感器這里優(yōu)選使用電阻溫度計(jì)。由加熱功率和被加熱的電阻溫度計(jì)的溫度可以根據(jù)公知的數(shù)學(xué)關(guān)系計(jì)算出流量。

一種熱式質(zhì)量流量計(jì)。這種質(zhì)量流量計(jì)具有受脈沖作用的電加熱元件和與流動(dòng)的流體在熱上作用連接的溫度傳感器，所述溫度傳感器的電阻是溫度相關(guān)的。這里傳感器元件能通過加熱元件加熱。為了確定流量而設(shè)有電子裝置，所述電子裝置確定在傳感器元件中發(fā)生的加熱和冷卻過程的時(shí)間曲線熱元件和傳感器元件這里安置在一共同的殼體中。由于用于殼體的材料以及殼體內(nèi)部可能的填充材料的選擇，也由于殼體的幾何構(gòu)型，都會(huì)對(duì)傳感器元件和流動(dòng)經(jīng)過的介質(zhì)之間的熱的作用連接產(chǎn)生影響。在所述現(xiàn)有技術(shù)中，殼體在傳感器元件的區(qū)域內(nèi)具有收縮部，用于提高熱的作用連接。原理上通過盡可能高的熱作用連接，即通過加熱元件向流體介質(zhì)中zui大的熱傳遞，以及由于向傳感器接頭或傳感器支座極低的熱量散失，可以實(shí)現(xiàn)zui佳的測(cè)量效果和高的測(cè)量精度。

因此，為了實(shí)現(xiàn)傳感器裝置的短的響應(yīng)時(shí)間，要求將傳感器裝置和其包裝環(huán)境的熱質(zhì)量保持盡可能小。另一方面，數(shù)量眾多的工業(yè)應(yīng)用，例如在食品領(lǐng)域、制藥領(lǐng)域，要求優(yōu)選通過優(yōu)質(zhì)合金鋼對(duì)傳感器裝置進(jìn)行金屬封裝。除了衛(wèi)生方面，這種金屬封裝的傳感器裝置具有相對(duì)于腐蝕性的介質(zhì)明顯更高的耐抗性的優(yōu)點(diǎn)，并且由此也可以在惡劣的環(huán)境中使用。但這樣的設(shè)備需要對(duì)傳感器裝置進(jìn)行復(fù)雜的包裝，因?yàn)檫@種包裝必須在大的溫度范圍上是穩(wěn)定的并且多數(shù)情況下要使用數(shù)量眾多的不同的具有不同熱膨脹系數(shù)的材料。

一種用于熱式質(zhì)量流量計(jì)的金屬封裝的傳感器裝置，這種傳感器裝置的金屬罩具有圓柱形的構(gòu)型并通過將一空心圓柱體與一圓形蓋相互焊接形成。這種傳感器裝置的重要的質(zhì)量參數(shù)是周長與橫截面的比例。在內(nèi)部采用電阻絲作為傳感器，所述電阻絲繞同樣圓柱形的載體纏繞，所述載體又由圓柱形的金屬罩包圍。為了實(shí)現(xiàn)從傳感器裝置到流動(dòng)的介質(zhì)中的較小的加熱電阻，這里，圓柱形的金屬罩發(fā)生塑性變形。采用限位套簡附加地有助于實(shí)現(xiàn)對(duì)圓柱形的載體的提高的熱隔離。

一種金屬封裝的傳感器裝置，其中，熱式測(cè)量元件安裝在一矩形的陶瓷載體上。所述陶瓷載體又由圓柱形的金屬罩包圍并通過焊錫固定在其中。但這里測(cè)量元件的電接觸部位沒有被焊錫覆蓋。為此，陶瓷載體在安裝在該陶瓷載體上的測(cè)量元件的部位通過耐高溫的玻璃層覆蓋。在陶瓷載體的與測(cè)量元件相對(duì)置的表面上施加有錫金屬化層。所有這些相當(dāng)復(fù)雜的措施用于實(shí)現(xiàn)盡可能小的從傳感器裝置到流體介質(zhì)中的熱阻以及用于同時(shí)實(shí)現(xiàn)載體內(nèi)部高的熱隔離。

一種用于抑制加熱電阻和其載體之間的熱流的措施。為此采用了主動(dòng)的第二加熱元件，所述第二加熱元件定位在加熱電阻和載體之間。但這種主動(dòng)的熱流抑制需要相應(yīng)較高的構(gòu)件技術(shù)上的耗費(fèi)。

發(fā)明內(nèi)容

因此本發(fā)明的目的是，實(shí)現(xiàn)一種帶有穩(wěn)定地金屬封裝的傳感器裝置的熱式質(zhì)量流量計(jì)，所述傳感器裝置通過簡單的技術(shù)措施確保了具有極高精度的zui佳的測(cè)量效果。

所述目的基于根據(jù)權(quán)利要求1的前序部分的熱式質(zhì)量流量計(jì)結(jié)合權(quán)利要求1特征部分的特征來實(shí)現(xiàn)。后面的各從屬權(quán)利要求給出了本發(fā)明有利的擴(kuò)展方案。

本發(fā)明包括這樣的技術(shù)教導(dǎo)，即與加熱電阻的片狀幾何形狀相對(duì)應(yīng)地將傳感器罩的至少一個(gè)遠(yuǎn)端的端部區(qū)域構(gòu)造成具有一這樣的矩形橫截面，即，使得該端部區(qū)域配合精確地緊密包圍所述加熱電阻。

根據(jù)本發(fā)明的解決方案的優(yōu)點(diǎn)特別在于，僅通過這種特殊的幾何關(guān)系就明顯改善了從傳感器裝置到流動(dòng)的介質(zhì)中的熱傳遞，同時(shí)僅發(fā)生極小的向傳感器接頭中的熱量散失，因?yàn)閭鞲衅髡窒鄳?yīng)配合精確地優(yōu)選只包圍加熱電阻的遠(yuǎn)端的端部區(qū)域。通過根據(jù)本發(fā)明的解決方案使傳感器裝置和其包裝的熱質(zhì)量zui小化。

優(yōu)選對(duì)于傳感器裝置可以采用薄膜電阻，所述薄膜電阻設(shè)置在同樣薄的基體上，所述基體具有片狀幾何形狀，以便實(shí)現(xiàn)加熱面與觸點(diǎn)接頭在位置上的分離。由于通過根據(jù)本發(fā)明的解決方案使傳感器裝置和其高耐抗性的傳感器罩的熱質(zhì)量zui小化，可以實(shí)現(xiàn)有利地短的響應(yīng)時(shí)間。相對(duì)于傳統(tǒng)的圓柱形的殼體幾何形狀，通過根據(jù)本發(fā)明的矩形的輪廓代表周長與橫截面比值的質(zhì)量指標(biāo)加倍。特別是矩形輪廓大的冷卻面與其體積相比實(shí)現(xiàn)了期望的短的響應(yīng)時(shí)間以及在靈敏度方面zui佳的測(cè)量效果。試驗(yàn)證明，根據(jù)本發(fā)明的傳感器裝置的響應(yīng)時(shí)間與傳統(tǒng)的解決方案相比從1-3s降低到約0.6s。由于傳感器罩的矩形橫截面，殼體的表面的大部分構(gòu)造成相同的結(jié)構(gòu)，從而這里也可以形成均勻的流動(dòng)結(jié)構(gòu)。此外，流體從后棱邊區(qū)域的表面上的分離發(fā)生了推移。由于本發(fā)明的特殊的形狀該表面較小并且因此對(duì)于總的熱傳遞只有很小的影響。因此在這個(gè)區(qū)域內(nèi)的不穩(wěn)定只對(duì)測(cè)量特性產(chǎn)生微小的影響。

由于這個(gè)原因，根據(jù)本發(fā)明構(gòu)成的傳感器裝置可以以簡單的解析公式只用很少的要校正的參數(shù)來描述。因此，為了校正只需要少數(shù)幾個(gè)測(cè)量點(diǎn)，這同樣對(duì)于測(cè)量精度起有利的作用。

根據(jù)傳感器罩的一個(gè)優(yōu)選的實(shí)施形式，傳感器罩的扁平長方體狀的遠(yuǎn)端的端部區(qū)域由0.1至0.3mm厚的金屬板制成，所述金屬板在保持zui大0.1mm的間隙的情況下包圍加熱電阻。在金屬板的這個(gè)厚度范圍內(nèi)，對(duì)于大多數(shù)應(yīng)用場(chǎng)合，傳感器罩對(duì)位于內(nèi)部的傳感器裝置充分地滿足了保護(hù)功能，并且所述傳感器裝置由于到傳感器罩非常窄的間隙獲得向流動(dòng)的介質(zhì)中高的熱傳遞?？傮w上實(shí)現(xiàn)了引起前面給出的短的響應(yīng)時(shí)間的配合精度。
在根據(jù)本發(fā)明的傳感器裝置的范圍內(nèi)所采用的加熱電阻優(yōu)選包括扁平長方體形的帶有設(shè)置在其上的薄膜電阻的基底片。這種薄膜電阻或薄層電阻可以特別節(jié)省空間地安置在傳感器罩的矩形橫截面內(nèi)部。

根據(jù)一個(gè)改進(jìn)本發(fā)明的措施建議，傳感器罩的扁平長方體狀的遠(yuǎn)端的端部區(qū)域的棱邊構(gòu)造成特別鋒利的/尖棱的,優(yōu)選具有zui大為傳感器罩的寬度b的1/3的半徑或倒角。為了實(shí)現(xiàn)高效的熱傳遞，由此特別避免了傳感器罩的圓形的迎流面。通過傳感器罩在遠(yuǎn)端的端部區(qū)域內(nèi)的特別鋒利的構(gòu)型在所述棱邊上基本上與相應(yīng)的環(huán)境參數(shù)無關(guān)地形成流轉(zhuǎn)變并且不會(huì)因此改變其在表面上的位置。由此可以實(shí)現(xiàn)比傳統(tǒng)的傳感器罩明顯更穩(wěn)定的流動(dòng)狀態(tài)，這附加地簡化了校正并提高了質(zhì)量流量測(cè)量的精度。

根據(jù)另一個(gè)改進(jìn)本發(fā)明的措施建議，傳感器罩的扁平長方體狀的、優(yōu)選鋒利的遠(yuǎn)端的端部區(qū)域沿軸向方向延長到一相對(duì)于該端部區(qū)域擴(kuò)展的連接區(qū)域，以便在其中設(shè)置加熱電阻的電連接元件。

電纜優(yōu)選通過釬焊連接而固定在加熱電阻的端部上。由此根據(jù)本發(fā)明的傳感器罩的形狀嚴(yán)格地遵照傳感器裝置的功能設(shè)計(jì)。遠(yuǎn)端的端部區(qū)域設(shè)計(jì)成用于實(shí)現(xiàn)精確的測(cè)量結(jié)果，而傳感器罩的其余區(qū)域的形狀設(shè)計(jì)成為設(shè)置電連接元件提供足夠的空間。為此所述擴(kuò)展的連接區(qū)域特別是可以構(gòu)造成圓柱形的。

由薄的金屬板構(gòu)成的傳感器罩可以通過彎曲或密封焊接金屬板、通過深拉或通過成形來制造。

傳感器罩的擴(kuò)展的端部區(qū)域優(yōu)選設(shè)有氣體填充物。所述氣體填充物用于傳感器裝置相對(duì)于承載傳感器罩的保持桿的熱隔離。通過所述氣體實(shí)現(xiàn)了將導(dǎo)熱性降低約一個(gè)數(shù)量級(jí)。這里這樣構(gòu)成的氣體填充的空腔應(yīng)構(gòu)造成盡可能長的結(jié)構(gòu)，以便實(shí)現(xiàn)高的隔離作用。氣體填充的擴(kuò)展的端部區(qū)域因此特別是具有比橫向延伸長度大的縱向延伸長度并優(yōu)選通過一在端側(cè)焊接在傳感器罩上的附加的圓柱形套筒構(gòu)成，所述套筒又在末端側(cè)固定在承載桿上。通過傳感器裝置這種形式的熱隔離降低了由于到保持桿中的散熱而引起的測(cè)量誤差，所述散熱通常不是恒定的并且因此也不通過校正傳感器裝置來補(bǔ)償。由于向保持桿中的散熱與流動(dòng)介質(zhì)的溫度和環(huán)境溫度相關(guān)，在波動(dòng)的情況下可能導(dǎo)致明顯的測(cè)量誤差，這種測(cè)量誤差通過熱隔離來防止。這里熱隔離能通過套筒長度以及其壁部厚度的改變來調(diào)整。這樣通過使套簡長度并由此使空腔的長度加倍而實(shí)現(xiàn)使熱損失降低4至6倍。

傳感器裝置的一個(gè)**重要的測(cè)量參數(shù)是從傳感器罩的表面到流動(dòng)的介質(zhì)中的熱傳遞。在已知加熱功率、傳感器表面溫度和介質(zhì)溫度的情況下，能夠根據(jù)公知的數(shù)學(xué)關(guān)系確定所述熱傳遞并zui終確定通流速度。加熱功率和介質(zhì)溫度可以在測(cè)量技術(shù)上簡單地確定，而傳感器罩的表面溫度則必須由傳感器裝置內(nèi)部的加熱電阻的溫度得出，其中，假設(shè)從加熱電阻到傳感器表面的熱阻是恒定的。所述熱阻的變化導(dǎo)致與熱阻的變化成比例的測(cè)量誤差。己知的具有復(fù)雜的傳感器裝置包裝的熱式質(zhì)量流量計(jì)的這個(gè)問題通過本發(fā)明在原理上這樣來解決，即通過使所述包裝的熱阻zui小化來降低可能的測(cè)量誤差。優(yōu)選除了配合精確的、薄壁的傳感器罩之外，還應(yīng)給在傳感器罩和加熱電阻之間的狹窄的間隙填充高導(dǎo)熱性的固態(tài)的、液態(tài)的或糊狀的填充材料。除了將加熱電阻和傳感器罩之間的間隙保持較小的措施，通過高導(dǎo)熱性的填充材料中的這樣的嵌入，可以實(shí)現(xiàn)附加地降低用于傳感器裝置的包裝的熱阻。除了這樣降低和穩(wěn)定化熱阻以外，填充材料還確保在加熱電阻和傳感器罩之間的穩(wěn)定的機(jī)械連接。

附圖說明

下面與對(duì)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例的說明一起根據(jù)附圖詳細(xì)示出其他改進(jìn)本發(fā)明的措施。其中：

圖1示出具有金屬封裝的傳感器裝置的熱式質(zhì)量流量計(jì)的示意圖，

圖2示出用于傳感器裝置的傳感器罩的透視圖，

圖3示出根據(jù)圖2的傳感器罩的縱向剖視圖，以及圖4示出附加地用圓柱形套筒延長的傳感器罩的縱向剖視圖。

具體實(shí)施方式

根據(jù)圖1在由流動(dòng)的介質(zhì)1流動(dòng)通過的管道2中設(shè)置金屬封裝的傳感器裝置的由所述介質(zhì)繞流的傳感器罩3，所述傳感器裝置用于一熱式質(zhì)量流量計(jì)。所述金屬封裝的傳感器裝置與一用于產(chǎn)生測(cè)量值和分析測(cè)量值的電子的分析處理單元4電連接。

根據(jù)圖2，傳感器罩3具有遠(yuǎn)端的端部區(qū)域5，該端部區(qū)域具有扁平長方體形的橫截面，所述端部區(qū)域在一擴(kuò)展的連接區(qū)域6延續(xù)，所述連接區(qū)域?yàn)閳A柱形的。所述一體制成的傳感器罩3由0.2mm厚的金屬板構(gòu)成，以便保護(hù)位于內(nèi)部的傳感器裝置不受繞流傳感器罩3的介質(zhì)2影響。

根據(jù)圖3，傳感器罩3包含一具有片狀幾何形狀的加熱電阻7。傳感器罩3的所述遠(yuǎn)端的端部區(qū)域5構(gòu)造成具有這樣的矩形橫截面，使得所述遠(yuǎn)端的端部區(qū)域配合精確地緊密地包圍加熱電阻7。在加熱電阻7和傳感器罩3之間只形成小于0.1mm的狹窄的間隙8。加熱電阻7由扁平長方體狀的基體片組成，所述基體小片具有設(shè)置在該基體小片上的薄膜電阻9。為了電連接所述薄膜電阻9，傳感器罩3具有一相對(duì)于所述遠(yuǎn)端的端部區(qū)域5擴(kuò)展的連接區(qū)域6，在所述連接區(qū)域中，薄膜電阻9的端部釬焊在連接電纜11上。

根據(jù)在圖4中示出的實(shí)施形式，傳感器罩3的圓柱形的連接區(qū)域6在端側(cè)以一焊接在其上的圓柱形的套筒10延長。圓柱形的套筒10用氣體填充，所述氣體用于加熱電阻7相對(duì)于保持桿12的熱隔離。傳感器罩3的扁平長方體形的遠(yuǎn)端的端部區(qū)域5與加熱電阻7之間的間隙8用高導(dǎo)熱性的糊狀的填充材料13填充，所述填充材料同時(shí)也用于相對(duì)于傳感器罩3固定加熱電阻7。

附圖標(biāo)記列表

1流動(dòng)的介質(zhì)

2管道

3傳感器罩

4分析處理單元

5遠(yuǎn)端的端部區(qū)域

6擴(kuò)展的連接區(qū)域

7加熱電阻

8間隙

9薄膜電阻

10圓柱形的套筒

11連接電纜

12保持桿

13填充材料

b傳感器罩的寬度